定义
MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微机电系统）将机械结构与电子电路集成于硅基芯片，实现加速度计、陀螺仪、压力传感器等。振动传感器采用 MEMS 或 IEPE 加速度计，测量 0.5Hz～10kHz 振动，支持边缘 FFT 分析，适用于旋转机械预测性维护。
传感器类型
MEMS 加速度计：测量振动、冲击、倾斜，输出模拟（电压）或数字（I2C/SPI）；MEMS 陀螺仪：测量角速度，用于姿态、导航；MEMS 压力传感器：测量气压、液位；MEMS 麦克风：声学传感。与 IEPE 相比，MEMS 体积小、成本低、功耗低、易集成，频响通常 0～数 kHz，适合嵌入式、大批量、中低频振动监测。
应用场景
旋转机械振动监测、轴承故障早期预警；结构健康监测；可穿戴设备、姿态检测；消费电子、汽车电子。边缘网关集成 MEMS 加速度计，可本地运行 FFT、包络分析，提取特征值后经 MQTT、Modbus 上报，减少原始数据上传，支撑预测性维护平台。